这些CNC加工半导体腔体零件是容纳晶圆处理步骤的真空密封、耐等离子体外壳。我们将壁厚控制在±0.005毫米，所有配合面跳动达0.005毫米，并在5天内发货首件——而非15天。每个零件均从认证铝材或不锈钢坯料，在3轴和5轴机床上铣削而成，然后进行硬质阳极氧化处理，表面硬度相当于60 HRC，以在严苛的蚀刻和沉积环境中抵抗侵蚀。 我们如何加工真空密封槽 密封槽是任何腔体的核心——此处泄漏会破
获取报价
-
简体中文
- sc@bquq.com
这些CNC加工半导体腔体零件是容纳晶圆处理步骤的真空密封、耐等离子体外壳。我们将壁厚控制在±0.005毫米，所有配合面跳动达0.005毫米，并在5天内发货首件——而非15天。每个零件均从认证铝材或不锈钢坯料，在3轴和5轴机床上铣削而成，然后进行硬质阳极氧化处理，表面硬度相当于60 HRC，以在严苛的蚀刻和沉积环境中抵抗侵蚀。 我们如何加工真空密封槽 密封槽是任何腔体的核心——此处泄漏会破
这些CNC加工半导体腔体零件是容纳晶圆处理步骤的真空密封、耐等离子体外壳。我们将壁厚控制在±0.005毫米，所有配合面跳动达0.005毫米，并在5天内发货首件——而非15天。每个零件均从认证铝材或不锈钢坯料，在3轴和5轴机床上铣削而成，然后进行硬质阳极氧化处理，表面硬度相当于60 HRC，以在严苛的蚀刻和沉积环境中抵抗侵蚀。
密封槽是任何腔体的核心——此处泄漏会破坏整个工艺。我们使用专用单点刀具切割这些槽，而非通用立铣刀。我们的CNC程序采用顺铣，转速12,000 RPM，步距0.02毫米，产生均匀压缩O型圈的表面。我们使用校准的气动量规验证每个槽，而非仅用轮廓仪。结果：我们发运的每个腔体氦泄漏率低于1×10⁻⁹ mbar·L/s。
大多数腔体我们选用6061-T6铝，因其平衡了导热性（167 W/m·K）和可加工性。对于含氟等离子体，我们改用316L不锈钢或Inconel 625——这些合金能抵抗溶解标准铝的卤素侵蚀。铣削后，我们进行硬质阳极氧化（III型）至50–60 HRC，或在不锈钢上进行化学镀镍至48–52 HRC。每批进料坯料均通过导电率测试验证T6回火状态。
我们不依赖抽检。每个腔体零件均接受完整的三坐标测量机检测，探头分辨率0.001毫米——根据几何形状测量40至120个点。密封槽使用与最终组装相同的气动量规测量。表面粗糙度使用激光轮廓仪检查，而非手持式划痕仪。所有数据存储在包含您采购订单号的PDF报告中，在零件发货前发送给您。
腔体壁具有斜角端口、进气孔和冷却通道，3轴机床需多次装夹才能加工。每次装夹增加跳动风险。我们的5轴DMG MORI机床在一次夹持中切削这些特征，整个零件位置公差保持±0.01毫米。对于您的图纸，如果端口角度为30°或45°，我们一次走刀完成——无需二次EDM或钻孔操作。
单个原型腔体标准交期为5–7天，50件批次为15天。我们不设最小起订量——订购一件用于验证，然后扩展至500件。这是中国制造的精密制造，但有所不同：我们拥有自己的加工线，因此掌控进度。无中间商，无转包商，无需等待外部供应商的空闲班次。
面向等离子体的腔体内壁需要Ra 0.4 µm以减少颗粒脱落——我们通过4刃硬质合金立铣刀以0.01毫米径向切深，然后进行2 µm金刚石精加工实现。对于粗糙度有助于热传递的冷却通道，我们保持Ra 1.6 µm。下表显示我们的标准选项；告诉我们您的规格，我们即可达成，除非几何形状需要定制刀具，否则不额外收费。
| 参数 | 标准范围 | 备注 |
|---|---|---|
| 材料 | 6061-T6铝、316L不锈钢、Inconel 625 | 附带钢厂可追溯性认证 |
| 最大零件尺寸 | 800毫米 × 600毫米 × 400毫米 | 更大尺寸可协商 |
| 硬度（铝阳极氧化后） | 50–60 HRC | III型阳极氧化，厚度25–50 µm |
| 硬度（不锈钢镀镍后） | 48–52 HRC | 化学镀镍，厚度20–30 µm |
| 公差（机加工） | ±0.005毫米 | 关键密封表面 |
| 公差（一般） | ±0.02毫米 | ISO 2768-精密级 |
| 表面粗糙度 | Ra 0.4 µm至Ra 1.6 µm | 激光轮廓仪测量 |
| 跳动（同心特征） | 0.005毫米 TIR | 三坐标测量机验证 |
| 交期（原型） | 5天 | 自图纸批准起 |
| 交期（50件批次） | 15天 | 无最小起订量——订购1件或500件 |
您的腔体可能使用CF法兰、ISO-K或专有夹紧设计。我们均从原始坯料加工——无焊接、无钎焊。法兰面研磨至0.002毫米平面度，螺栓孔钻削至±0.05毫米位置度。如果您的图纸指定不在我们标准刀具库中的端口，我们直接编程。我们的CAM软件支持螺纹螺旋插补，因此您无需单独刀片。
无最小起订量——我们加工单个原型腔体零件用于验证，然后扩展至您需要的任何数量。
可以，我们的5轴机床可切削0°至90°的任何角度，位置精度±0.01毫米，并可钻削深达300毫米、最小直径3毫米的冷却通道。
每个零件均接受完整的三坐标测量机检测，分辨率0.001毫米，密封槽经气动量规测量，表面粗糙度经激光测量——所有数据以PDF报告形式发送给您。
20件批次自图纸批准起10天内发货，我们在收到您的询价后12小时内通过电子邮件确认进度。
东莞大多数工厂将腔体工作转包给第二家车间。我们不这样做。我们自己的20台CNC机床24/7运行，QC团队与操作员在同一楼层。这就是我们能保证0.005毫米跳动的原因——操作员将零件步行送至三坐标测量机，而非穿越城市。这也是我们能实现5天原型的原因：无外部供应商排队。这是中国制造的精密制造，但具有单站点运营的控制力。
为避免常见问题，请阅读我们的CNC刀具选择指南——它解释了刀具几何形状如何影响您的腔体表面粗糙度。如需更严格的规格，请查看我们的CNC加工公差指南，了解生产中可实现的范围，而非仅演示零件。如果您正在评估能源成本，我们的可持续精密制造说明展示了我们如何将每个零件的能耗降低18%。
发送您的图纸以获取这些CNC加工半导体腔体零件，并在12小时内获得精确报价。电子邮件sc@bquq.com或WhatsApp +86 13713157787。我们回复价格、交期和DFM审查——免费，无义务。
| 参数 | 能力范围 |
|---|---|
| 材料 | AL6061/7075, SUS303/304/316, 45#钢, T2铜, H59黄铜, POM, PEEK, 尼龙 |
| 公差 | ±0.005mm标准，±0.003mm可按需定制 |
| 设备 | 3/4/5轴CNC, 车铣复合, 瑞士型车床 |
| 表面处理 | 阳极氧化, 镀镍, 镀锌, 钝化, 喷砂, 抛光 |
| 尺寸范围 | 最大400 x 300 x 200 mm |
| 打样 | 72小时，样品无最小起订量 |
| 检测 | 每批次提供完整报告，可按需提供CMM数据 |
