密封面平面度是保持真空无泄漏的关键 这些CNC加工半导体腔体零件是蚀刻、沉积和离子注入设备的承重壁和气体分配环。我们将关键密封面加工至0.005 mm平面度，并在O型圈沟槽上保持Ra 0.4 µm的表面粗糙度。这意味着您的腔体能够维持10⁻⁶ Torr真空度，且无弹性体挤压点。BQUQ在东莞拥有20年的CNC生产经验，因此您能以10天的交期获得这种精度——而非美国或德国工厂通常所需的6周。 为什么
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密封面平面度是保持真空无泄漏的关键 这些CNC加工半导体腔体零件是蚀刻、沉积和离子注入设备的承重壁和气体分配环。我们将关键密封面加工至0.005 mm平面度，并在O型圈沟槽上保持Ra 0.4 µm的表面粗糙度。这意味着您的腔体能够维持10⁻⁶ Torr真空度，且无弹性体挤压点。BQUQ在东莞拥有20年的CNC生产经验，因此您能以10天的交期获得这种精度——而非美国或德国工厂通常所需的6周。 为什么
这些CNC加工半导体腔体零件是蚀刻、沉积和离子注入设备的承重壁和气体分配环。我们将关键密封面加工至0.005 mm平面度，并在O型圈沟槽上保持Ra 0.4 µm的表面粗糙度。这意味着您的腔体能够维持10⁻⁶ Torr真空度，且无弹性体挤压点。BQUQ在东莞拥有20年的CNC生产经验，因此您能以10天的交期获得这种精度——而非美国或德国工厂通常所需的6周。
对于面向等离子体的部件，我们推荐6061-T6铝材。其导热系数（167 W/m·K）将热量从反应区导出的速度比316L不锈钢快10倍。我们在加工前对每块板材进行去应力处理以消除内应力。加工后，我们进行硬质阳极氧化处理，表面硬度相当于60 HRC——这可以防止电弧放电和颗粒脱落。对于离子注入终端站，我们使用304L或316L不锈钢，并进行32 Ra电解抛光，以将放气率降至1×10⁻⁹ Torr·L/s·cm²以下。
您的腔体零件通常需要15°、30°或45°角度的气体入口端口。我们使用DMG MORI五轴铣床，在一次装夹中加工这些角度孔。这消除了重新装夹带来的累积误差。端口间距的典型位置精度为±0.01 mm。我们还加工符合2A级配合的内螺纹——这对于必须在热循环下密封的加热器筒孔和热电偶孔至关重要。
每批原材料均附带EN 10204 3.1工厂证书。我们在切割前验证化学成分和硬度。对于铝制零件，我们使用T6状态（190 HB）。对于不锈钢，我们使用固溶退火状态，然后根据您的要求，在400°C下进行最终真空烘烤以去除氢脆。我们将每个零件的硬度读数记录在检验单上——您获得的是实际数值，而非“典型”值。
我们对关键特征进行100%检验，而非仅抽检。蔡司三坐标测量机根据您的3D模型检查所有孔、螺栓孔图案和密封面。对于必须保持真空的零件，我们进行低至1×10⁻⁹ mbar·L/s的氦气泄漏测试。我们还会在零件旁放置校准过的标尺进行拍照，供您存档。每次发货均附带完整检验报告——不额外收费。
标准表面处理为非密封区域Ra 0.8 µm，密封面Ra 0.4 µm。对于Cl₂或HBr等腐蚀性化学环境，我们施加25 µm硬质阳极氧化（Type III）以抵抗侵蚀。对于不锈钢零件，我们提供电解抛光，可去除加工硬化层并留下钝化铬氧化物表面。我们不使用喷砂处理——它会嵌入介质颗粒，导致晶圆缺陷。
我们将零件双层包装在防静电塑料中，并装入带泡沫内衬的木箱。外箱标有“易碎——真空级”字样，并包含干燥剂袋。我们处理所有出口文件，包括熏蒸证书和商业发票。通过DHL或FedEx门到门运输，运往美国、欧盟或日本需3-5天。对于紧急维修，我们可在48小时内空运单个零件。
| 规格 | 数值/范围 |
|---|---|
| 材料 | 铝6061-T6、7075-T6、不锈钢304L/316L、钛合金Grade 5 |
| 最大零件尺寸 | 1200 mm x 800 mm x 400 mm |
| 厚度范围 | 2 mm至200 mm |
| 硬度（铝） | T6：95 HB；硬质阳极氧化：60 HRC等效 |
| 硬度（不锈钢） | 固溶退火：最大200 HB |
| 加工公差 | ±0.005 mm（线性），±0.01 mm（位置） |
| 表面粗糙度Ra | 0.4 µm（密封面），0.8 µm（标准），0.2 µm（光学） |
| 跳动（同心度） | 孔间≤0.005 mm |
| 交期 | 标准10天，加急5天 |
| 最小起订量 | 无最小起订量——1件或1000件均可 |
| 检验 | 100%三坐标测量机，可选氦气泄漏测试 |
我们需要您的3D STEP或IGES文件。2D图纸无法体现复杂曲面端口上的表面轮廓标注。请将实体模型发送给我们，我们将检查壁厚、刀具可达性和内圆角。如果我们发现制造问题，将在4小时内告知您——而非在您支付工装费用之后。
我们将您的CNC程序、夹具和检验程序保存在服务器上长达10年。当您重新下单时，我们调出程序，重新运行首件检验，并在7天内发货。重复订单无需支付新的装夹费用。对于年度合同，我们可以为您保存关键原材料的安全库存——只需告知您的预测需求。
零最小起订量。我们以相同的单价加工1件原型或1000件生产零件。
可以，我们从中国、台湾和日本的认证钢厂采购；请发送您的ASTM或DIN规格，我们将在24小时内确认供货情况。
对于单件零件，我们使用与1000件批量相同的三坐标测量机检验和材料证书——绝不偷工减料。
我们可在48小时内加工简单的铝板并空运；复杂多端口腔体需5-7天。
准备好以真正的精度制造您的腔体零件了吗？请将您的3D模型和数量发送至sc@bquq.com。我们将在12小时内返回正式报价，包括材料成本、加工时间和运输选项。如有紧急问题，请通过WhatsApp联系我们：+86 13713157787。无最小起订量、无设计费、无隐藏工装费用——只需符合您的CNC加工公差指南并能承受数千次工艺循环的CNC加工半导体腔体零件。我们在中国的精密制造拥有20年出口经验。我们还帮助您为特定合金选择合适的刀具——详情请参阅我们的CNC刀具选择指南。立即发送您的图纸。
| 参数 | 能力范围 |
|---|---|
| 材料 | AL6061/7075, SUS303/304/316, 45#钢, T2铜, H59黄铜, POM, PEEK, 尼龙 |
| 公差 | ±0.005mm标准，±0.003mm可按需定制 |
| 设备 | 3/4/5轴CNC, 车铣复合, 瑞士型车床 |
| 表面处理 | 阳极氧化, 镀镍, 镀锌, 钝化, 喷砂, 抛光 |
| 尺寸范围 | 最大400 x 300 x 200 mm |
| 打样 | 72小时，样品无最小起订量 |
| 检测 | 每批次提供完整报告，可按需提供CMM数据 |
